VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
AlN coating (as rec'd, 35 deg TOA) Conductive 
1

NORM
REGULAR
5
0
0
0
0
0
5

AlN coating (as rec'd, 35 deg TOA) Conductive 
2003
5
7
22
59
58
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.06
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
1000
-0.977517
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
6
4.00E-06
0
0
0
0
2048
280
28157
0.110083
0.376048
7129
0.376048
7047
0.375219
6972
0.374393
6782
0.373571
6932
0.372752
6632
0.371937
6548
0.371125
6460
0.370316
6364
0.369511
6232
0.368709
6196
0.36791
6272
0.367115
6104
0.366323
6037
0.365534
6151
0.364749
6133
0.363966
6251
0.363187
6351
0.362411
6604
0.361638
6956
0.360869
7002
0.360102
7133
0.359339
7120
0.358578
6851
0.357821
6667
0.357067
6422
0.356315
6163
0.355567
6038
0.354822
6010
0.35408
5625
0.35334
5433
0.352604
5582
0.351871
5228
0.35114
4957
0.350412
4891
0.349688
4745
0.348966
4740
0.348247
4760
0.347531
4698
0.346817
4760
0.346106
4669
0.345399
4762
0.344694
4597
0.343991
4703
0.343292
4705
0.342595
4700
0.3419
4754
0.341209
4695
0.34052
4788
0.339834
4737
0.33915
4623
0.338469
4677
0.337791
4638
0.337115
4562
0.336442
4747
0.335771
4714
0.335103
4725
0.334438
4845
0.333775
4804
0.333114
4815
0.332456
4780
0.3318
4619
0.331147
4803
0.330497
4674
0.329848
4720
0.329203
4832
0.328559
4715
0.327918
4800
0.32728
4771
0.326643
4851
0.32601
4803
0.325378
4720
0.324749
4721
0.324122
4815
0.323497
4722
0.322875
4715
0.322255
4789
0.321637
4717
0.321022
4678
0.320409
4697
0.319798
4980
0.319189
4888
0.318582
4712
0.317978
4799
0.317376
4883
0.316776
4893
0.316178
4680
0.315582
4651
0.314989
4767
0.314397
4772
0.313808
4758
0.313221
4732
0.312635
4691
0.312052
4873
0.311471
4810
0.310893
4886
0.310316
4795
0.309741
4811
0.309168
4942
0.308597
4879
0.308029
4929
0.307462
4836
0.306897
4789
0.306334
4861
0.305773
4716
0.305215
4904
0.304658
4894
0.304103
4888
0.30355
4955
0.302998
4955
0.302449
4742
0.301902
4892
0.301356
4819
0.300813
4877
0.300271
4881
0.299731
4909
0.299193
4942
0.298657
4887
0.298123
4956
0.29759
4853
0.29706
4867
0.296531
5057
0.296004
4895
0.295478
4790
0.294955
4932
0.294433
4834
0.293913
5032
0.293395
5022
0.292878
4953
0.292364
4988
0.291851
5023
0.291339
4948
0.29083
4814
0.290322
5018
0.289815
4962
0.289311
4905
0.288808
4801
0.288307
5009
0.287807
4888
0.287309
5010
0.286813
5046
0.286318
5046
0.285825
4807
0.285334
4875
0.284844
5014
0.284356
4970
0.28387
5032
0.283385
5103
0.282901
5112
0.282419
4908
0.281939
4949
0.28146
4797
0.280983
5006
0.280508
5062
0.280033
5050
0.279561
5093
0.27909
5031
0.27862
5174
0.278152
5074
0.277686
5212
0.277221
5182
0.276757
5138
0.276295
5107
0.275835
5035
0.275375
5151
0.274918
5104
0.274461
4886
0.274007
5023
0.273553
5179
0.273101
5213
0.272651
5001
0.272202
5117
0.271754
5079
0.271308
5091
0.270863
4958
0.27042
5027
0.269977
5113
0.269537
5061
0.269097
5106
0.268659
5094
0.268223
5182
0.267787
5166
0.267354
5149
0.266921
5187
0.26649
5077
0.26606
5174
0.265631
5204
0.265204
5175
0.264778
5182
0.264353
5181
0.26393
5198
0.263508
5218
0.263087
5188
0.262668
5247
0.262249
5172
0.261832
5168
0.261417
5332
0.261002
5249
0.260589
5221
0.260177
5150
0.259766
5224
0.259357
5153
0.258949
5362
0.258542
5277
0.258136
5202
0.257731
5213
0.257328
5256
0.256926
5264
0.256525
5379
0.256125
5240
0.255726
5479
0.255329
5269
0.254933
5164
0.254538
5340
0.254144
5383
0.253751
5365
0.25336
5490
0.252969
5401
0.25258
5334
0.252192
5332
0.251805
5216
0.251419
5207
0.251034
5423
0.250651
5286
0.250268
5378
0.249887
5266
0.249506
5384
0.249127
5367
0.248749
5346
0.248372
5523
0.247996
5270
0.247621
5349
0.247248
5478
0.246875
5428
0.246504
5417
0.246133
5423
0.245764
5419
0.245395
5470
0.245028
5387
0.244662
5424
0.244296
5631
0.243932
5400
0.243569
5566
0.243207
5515
0.242846
5535
0.242486
5627
0.242127
5444
0.241768
5544
0.241411
5492
0.241055
5543
0.2407
5560
0.240346
5459
0.239993
5532
0.239641
5697
0.23929
5486
0.23894
5491
0.238591
5568
0.238243
5547
0.237896
5556
0.237549
5520
0.237204
5475
0.23686
5628
0.236516
5611
0.236174
5587
0.235833
5606
0.235492
5504
0.235152
5564
0.234814
5727
0.234476
5642
0.234139
5598
0.233803
5697
0.233469
5555
0.233135
5534
0.232801
5681
0.232469
5737
0.232138
5505
0.231807
5745
0.231478
5648
0.231149
5746
0.230822
5796
0.230495
5676
0.230169
5812
0.229844
5921
0.22952
5749
0.229196
5769
0.228874
5790
0.228552
5775
0.228231
5639
0.227912
5583
0.227593
5638
0.227274
5946
0.226957
5660
0.226641
5844
0.226325
5832
0.22601
5864
0.225696
5907
0.225383
5938
0.225071
5799
0.224759
5771
0.224449
6064
0.224139
5862
0.22383
5791
0.223521
5851
0.223214
5926
0.222907
5901
0.222602
5913
0.222297
5792
0.221992
5854
0.221689
5882
0.221386
5905
0.221085
5786
0.220784
5947
0.220483
5950
0.220184
5846
0.219885
6182
0.219587
6000
0.21929
6226
0.218994
6026
0.218698
6169
0.218403
6017
0.218109
6003
0.217816
6148
0.217523
5977
0.217231
6094
0.21694
6232
0.21665
6222
0.21636
6230
0.216071
6272
0.215783
6248
0.215496
6156
0.215209
6235
0.214923
6403
0.214638
6222
0.214353
6424
0.214069
6395
0.213786
6461
0.213504
6312
0.213222
6312
0.212941
6320
0.212661
6360
0.212382
6560
0.212103
6582
0.211825
6462
0.211547
6550
0.211271
6644
0.210994
6559
0.210719
6510
0.210444
6581
0.21017
6547
0.209897
6646
0.209624
6392
0.209352
6663
0.209081
6711
0.208811
6649
0.208541
6683
0.208271
6778
0.208003
6935
0.207735
6731
0.207467
6922
0.207201
6875
0.206935
7018
0.206669
6939
0.206405
6983
0.206141
6911
0.205877
6917
0.205614
7112
0.205352
6888
0.205091
6853
0.20483
6966
0.20457
7066
0.20431
7004
0.204051
7083
0.203793
7060
0.203535
7323
0.203278
7213
0.203022
7246
0.202766
7259
0.20251
7249
0.202256
7254
0.202002
7124
0.201748
7157
0.201496
7238
0.201243
7366
0.200992
7287
0.200741
7353
0.20049
7461
0.200241
7455
0.199991
7505
0.199743
7491
0.199495
7519
0.199247
7571
0.199
7460
0.198754
7569
0.198508
7588
0.198263
7623
0.198019
7697
0.197775
7761
0.197531
7693
0.197289
7706
0.197046
7707
0.196805
7693
0.196564
7775
0.196323
7813
0.196083
7825
0.195844
7803
0.195605
7785
0.195366
7883
0.195129
7761
0.194891
7813
0.194655
7923
0.194419
8111
0.194183
7957
0.193948
7937
0.193714
8093
0.19348
8045
0.193246
8105
0.193013
8150
0.192781
8155
0.192549
8049
0.192318
7983
0.192087
8232
0.191857
8153
0.191627
8207
0.191398
8288
0.19117
8335
0.190941
8287
0.190714
8377
0.190487
8386
0.19026
8370
0.190034
8366
0.189809
8494
0.189584
8297
0.189359
8297
0.189135
8434
0.188911
8363
0.188688
8398
0.188466
8257
0.188244
8310
0.188022
8234
0.187801
8157
0.187581
8021
0.187361
8173
0.187141
8127
0.186922
8086
0.186704
8101
0.186486
7991
0.186268
8174
0.186051
8315
0.185835
8478
0.185618
8767
0.185403
8963
0.185188
9180
0.184973
9300
0.184759
9391
0.184545
9376
0.184332
9328
0.184119
9144
0.183907
9024
0.183695
8766
0.183483
8344
0.183272
8170
0.183062
7806
0.182852
7574
0.182642
7350
0.182433
6876
0.182225
6465
0.182016
6255
0.181809
5819
0.181601
5483
0.181395
5257
0.181188
4883
0.180982
4549
0.180777
4631
0.180572
4724
0.180367
5291
0.180163
7632
0.179959
15607
0.179756
28157
0.179553
27325
0.179351
16230
0.179149
7620
0.178947
4932
0.178746
4319
0.178546
4329
0.178345
3961
0.178145
4074
0.177946
4141
0.177747
4053
0.177549
3982
0.177351
3967
0.177153
3912
0.176956
3830
0.176759
3907
0.176562
3758
0.176366
3942
0.176171
3930
0.175975
3878
0.175781
3831
0.175586
3861
0.175392
3938
0.175199
3853
0.175006
3851
0.174813
3888
0.174621
3881
0.174429
3906
0.174237
3803
0.174046
3871
0.173855
3844
0.173665
3903
0.173475
3828
0.173286
3839
0.173097
3904
0.172908
4051
0.172719
4082
0.172531
4040
0.172344
3852
0.172157
3830
0.17197
3754
0.171784
3918
0.171598
3966
0.171412
3851
0.171227
3849
0.171042
3863
0.170857
3842
0.170673
3922
0.170489
3776
0.170306
3865
0.170123
3815
0.169941
3759
0.169758
3770
0.169576
3809
0.169395
3847
0.169214
3803
0.169033
3784
0.168853
3779
0.168673
3715
0.168493
3797
0.168314
3759
0.168135
3861
0.167956
3782
0.167778
3770
0.1676
3820
0.167423
3814
0.167246
3760
0.167069
3786
0.166893
3691
0.166717
3789
0.166541
3686
0.166366
3782
0.166191
3670
0.166016
3756
0.165842
3838
0.165668
3748
0.165494
3751
0.165321
3781
0.165148
3713
0.164975
3691
0.164803
3792
0.164631
3775
0.16446
3747
0.164289
3663
0.164118
3716
0.163947
3713
0.163777
3701
0.163607
3773
0.163438
3774
0.163269
3786
0.1631
3704
0.162931
3775
0.162763
3658
0.162596
3638
0.162428
3717
0.162261
3687
0.162094
3645
0.161928
3631
0.161761
3634
0.161595
3716
0.16143
3667
0.161265
3726
0.1611
3683
0.160935
3613
0.160771
3589
0.160607
3596
0.160444
3667
0.16028
3657
0.160117
3534
0.159955
3500
0.159792
3576
0.15963
3644
0.159469
3594
0.159307
3453
0.159146
3686
0.158985
3735
0.158825
3642
0.158665
3642
0.158505
3617
0.158345
3675
0.158186
3565
0.158027
3540
0.157868
3405
0.15771
3548
0.157552
3402
0.157394
3308
0.157237
3417
0.15708
3362
0.156923
3307
0.156767
3297
0.15661
3200
0.156454
3144
0.156299
3149
0.156143
3101
0.155988
3510
0.155834
4085
0.155679
4035
0.155525
3829
0.155371
4054
0.155218
4724
0.155064
4061
0.154911
3365
0.154759
3318
0.154606
3283
0.154454
3101
0.154302
3177
0.154151
3095
0.153999
3257
0.153848
3302
0.153698
3201
0.153547
3258
0.153397
3259
0.153247
3366
0.153098
3270
0.152948
3310
0.152799
3288
0.15265
3283
0.152502
3330
0.152354
3310
0.152206
3435
0.152058
3314
0.151911
3374
0.151764
3390
0.151617
3434
0.15147
3483
0.151324
3454
0.151178
3390
0.151032
3409
0.150887
3411
0.150741
3499
0.150596
3469
0.150452
3321
0.150307
3524
0.150163
3481
0.150019
3563
0.149876
3609
0.149732
3532
0.149589
3692
0.149446
3564
0.149304
3591
0.149161
3690
0.149019
3742
0.148877
3660
0.148736
3683
0.148594
3667
0.148453
3669
0.148313
3709
0.148172
3699
0.148032
3778
0.147892
3736
0.147752
3862
0.147612
3875
0.147473
3840
0.147334
3837
0.147195
3851
0.147057
3827
0.146919
4013
0.146781
3967
0.146643
3991
0.146505
4010
0.146368
3984
0.146231
3955
0.146094
4059
0.145958
4101
0.145821
4091
0.145685
4058
0.145549
4177
0.145414
4194
0.145278
4260
0.145143
4245
0.145008
4170
0.144874
4110
0.144739
4312
0.144605
4264
0.144471
4266
0.144338
4310
0.144204
4449
0.144071
4399
0.143938
4534
0.143805
4469
0.143673
4550
0.143541
4597
0.143409
4540
0.143277
4537
0.143145
4691
0.143014
4749
0.142883
4769
0.142752
4862
0.142621
4804
0.142491
4828
0.142361
4830
0.142231
5005
0.142101
4926
0.141971
5059
0.141842
4846
0.141713
4836
0.141584
4702
0.141455
4657
0.141327
4485
0.141199
4287
0.141071
4161
0.140943
3905
0.140816
3861
0.140688
3628
0.140561
3516
0.140434
3474
0.140308
3405
0.140181
3466
0.140055
4015
0.139929
5207
0.139803
5540
0.139678
7076
0.139553
13983
0.139427
24765
0.139303
15164
0.139178
4824
0.139053
3325
0.138929
3036
0.138805
3026
0.138681
3053
0.138558
2983
0.138434
2875
0.138311
2877
0.138188
2972
0.138065
2953
0.137942
2832
0.13782
2860
0.137698
2915
0.137576
2867
0.137454
2989
0.137333
2894
0.137211
2965
0.13709
3019
0.136969
2941
0.136848
3003
0.136728
2804
0.136608
2912
0.136487
2906
0.136368
2939
0.136248
2834
0.136128
2840
0.136009
2900
0.13589
2792
0.135771
2882
0.135652
2879
0.135534
2948
0.135415
2865
0.135297
2843
0.135179
2958
0.135061
2830
0.134944
2825
0.134826
2787
0.134709
2860
0.134592
2777
0.134476
2911
0.134359
3099
0.134243
3052
0.134126
3144
0.13401
2987
0.133895
2806
0.133779
2810
0.133664
2902
0.133548
2809
0.133433
2898
0.133318
2788
0.133204
2830
0.133089
2845
0.132975
2945
0.132861
2894
0.132747
2848
0.132633
2907
0.13252
2948
0.132406
2899
0.132293
2875
0.13218
2892
0.132067
2813
0.131955
2828
0.131842
2918
0.13173
2833
0.131618
2978
0.131506
2919
0.131394
2844
0.131283
2809
0.131171
2859
0.13106
2896
0.130949
2890
0.130838
2895
0.130728
2922
0.130617
2870
0.130507
2921
0.130397
2872
0.130287
2933
0.130177
2924
0.130068
2878
0.129958
2768
0.129849
2844
0.12974
2924
0.129631
2981
0.129522
2973
0.129414
2935
0.129305
2991
0.129197
2985
0.129089
3050
0.128981
3001
0.128874
2940
0.128766
2954
0.128659
2921
0.128552
2837
0.128445
3002
0.128338
2934
0.128231
2899
0.128125
2950
0.128019
3014
0.127913
3007
0.127807
3047
0.127701
3035
0.127595
3030
0.12749
2959
0.127384
3034
0.127279
2994
0.127174
3024
0.127069
3043
0.126965
2958
0.12686
2960
0.126756
2940
0.126652
2998
0.126548
3076
0.126444
3013
0.12634
3032
0.126237
3067
0.126134
3122
0.12603
3073
0.125927
3109
0.125825
3030
0.125722
3059
0.125619
3148
0.125517
3013
0.125415
3015
0.125313
3033
0.125211
3009
0.125109
2960
0.125008
2895
0.124906
2998
0.124805
2977
0.124704
2979
0.124603
2950
0.124502
3196
0.124401
3343
0.124301
3334
0.124201
3182
0.1241
2969
0.124
2902
0.123901
2959
0.123801
2933
0.123701
3015
0.123602
3016
0.123503
2869
0.123404
3016
0.123305
3134
0.123206
3161
0.123107
3204
0.123009
3168
0.12291
2956
0.122812
3066
0.122714
2945
0.122616
2868
0.122518
2887
0.122421
2831
0.122323
2714
0.122226
2536
0.122129
2439
0.122032
2410
0.121935
2201
0.121838
2275
0.121742
2191
0.121645
2104
0.121549
2118
0.121453
2089
0.121357
1962
0.121261
2232
0.121165
2514
0.12107
3405
0.120974
5357
0.120879
6593
0.120784
4918
0.120689
3284
0.120594
2314
0.120499
2151
0.120405
1913
0.120311
1889
0.120216
1901
0.120122
1799
0.120028
1813
0.119934
1716
0.119841
1669
0.119747
1704
0.119654
1765
0.11956
1669
0.119467
1701
0.119374
1964
0.119281
2391
0.119189
2170
0.119096
1806
0.119003
1768
0.118911
1823
0.118819
1842
0.118727
1832
0.118635
1789
0.118543
1842
0.118452
1805
0.11836
1806
0.118269
1652
0.118177
1638
0.118086
1534
0.117995
1528
0.117904
1396
0.117814
1335
0.117723
1266
0.117633
1162
0.117542
1193
0.117452
1074
0.117362
1060
0.117272
1024
0.117183
1045
0.117093
1071
0.117003
1105
0.116914
1180
0.116825
1943
0.116736
3785
0.116647
4488
0.116558
2879
0.116469
1517
0.11638
1100
0.116292
961
0.116204
985
0.116115
982
0.116027
939
0.115939
906
0.115851
958
0.115764
947
0.115676
870
0.115589
950
0.115501
871
0.115414
846
0.115327
864
0.11524
862
0.115153
833
0.115067
929
0.11498
953
0.114893
931
0.114807
1061
0.114721
1014
0.114635
923
0.114549
873
0.114463
884
0.114377
871
0.114292
866
0.114206
885
0.114121
880
0.114036
821
0.113951
847
0.113866
883
0.113781
839
0.113696
822
0.113611
756
0.113527
731
0.113442
716
0.113358
747
0.113274
687
0.11319
709
0.113106
722
0.113022
736
0.112939
744
0.112855
746
0.112772
749
0.112688
849
0.112605
963
0.112522
977
0.112439
1189
0.112356
1304
0.112273
1295
0.112191
1213
0.112108
978
0.112026
802
0.111944
706
0.111862
669
0.111779
708
0.111698
669
0.111616
678
0.111534
599
0.111452
593
0.111371
589
0.11129
589
0.111208
571
0.111127
666
0.111046
688
0.110965
591
0.110885
673
0.110804
592
0.110723
568
0.110643
489
0.110563
395
0.110482
339
0.110402
332
0.110322
325
0.110242
309
0.110162
280
0.110083

AlN coating (as rec'd, 35 deg TOA) Conductive 
2003
5
7
23
0
0
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.08
1
0
0
1000
2000
55
0
data_2
data_2
-1
Binding energy
eV
296
-0.0784314
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
6
4.00E-06
0
0
0
0
512
543
7026
0.532489
0.535602
734
0.535602
765
0.53559
737
0.535578
724
0.535565
740
0.535553
791
0.535541
724
0.535528
687
0.535516
754
0.535504
728
0.535491
713
0.535479
743
0.535467
711
0.535454
700
0.535442
720
0.53543
741
0.535417
727
0.535405
728
0.535393
725
0.53538
701
0.535368
709
0.535356
686
0.535343
746
0.535331
719
0.535319
686
0.535306
699
0.535294
681
0.535282
705
0.535269
734
0.535257
747
0.535245
749
0.535232
678
0.53522
670
0.535208
664
0.535195
682
0.535183
692
0.535171
682
0.535158
709
0.535146
699
0.535134
685
0.535122
701
0.535109
715
0.535097
688
0.535085
732
0.535072
676
0.53506
684
0.535048
705
0.535035
668
0.535023
714
0.535011
730
0.534999
672
0.534986
692
0.534974
664
0.534962
688
0.534949
709
0.534937
702
0.534925
697
0.534912
669
0.5349
729
0.534888
741
0.534876
746
0.534863
748
0.534851
804
0.534839
703
0.534826
831
0.534814
800
0.534802
821
0.53479
868
0.534777
871
0.534765
914
0.534753
948
0.534741
959
0.534728
1003
0.534716
1046
0.534704
1001
0.534691
1098
0.534679
1086
0.534667
1101
0.534655
1090
0.534642
1098
0.53463
1101
0.534618
1122
0.534606
1125
0.534593
1134
0.534581
1134
0.534569
1099
0.534557
1068
0.534544
1073
0.534532
1047
0.53452
1054
0.534508
1041
0.534495
1065
0.534483
1005
0.534471
940
0.534459
1044
0.534446
1016
0.534434
975
0.534422
1009
0.53441
1002
0.534397
1033
0.534385
1036
0.534373
1028
0.534361
1127
0.534348
1055
0.534336
1142
0.534324
1222
0.534312
1214
0.534299
1261
0.534287
1309
0.534275
1350
0.534263
1496
0.534251
1601
0.534238
1594
0.534226
1708
0.534214
1897
0.534202
2087
0.534189
2233
0.534177
2618
0.534165
2857
0.534153
3287
0.53414
3721
0.534128
4196
0.534116
4614
0.534104
5047
0.534092
5730
0.534079
6077
0.534067
6416
0.534055
6671
0.534043
6785
0.534031
7026
0.534018
7023
0.534006
6729
0.533994
6406
0.533982
5926
0.53397
5426
0.533957
4908
0.533945
4444
0.533933
3835
0.533921
3326
0.533909
2822
0.533896
2396
0.533884
2041
0.533872
1696
0.53386
1557
0.533848
1342
0.533835
1147
0.533823
1051
0.533811
984
0.533799
861
0.533787
867
0.533774
786
0.533762
760
0.53375
753
0.533738
712
0.533726
676
0.533713
759
0.533701
669
0.533689
670
0.533677
686
0.533665
675
0.533653
655
0.53364
636
0.533628
640
0.533616
667
0.533604
636
0.533592
638
0.53358
603
0.533567
636
0.533555
629
0.533543
638
0.533531
653
0.533519
646
0.533507
614
0.533494
584
0.533482
631
0.53347
609
0.533458
602
0.533446
613
0.533434
626
0.533421
587
0.533409
620
0.533397
611
0.533385
597
0.533373
636
0.533361
606
0.533348
602
0.533336
608
0.533324
626
0.533312
615
0.5333
613
0.533288
630
0.533276
607
0.533263
627
0.533251
662
0.533239
600
0.533227
577
0.533215
662
0.533203
665
0.533191
653
0.533179
617
0.533166
604
0.533154
625
0.533142
649
0.53313
617
0.533118
596
0.533106
600
0.533094
585
0.533081
609
0.533069
557
0.533057
608
0.533045
597
0.533033
615
0.533021
678
0.533009
569
0.532997
607
0.532984
618
0.532972
628
0.53296
590
0.532948
594
0.532936
543
0.532924
600
0.532912
587
0.5329
618
0.532888
639
0.532875
628
0.532863
611
0.532851
609
0.532839
594
0.532827
612
0.532815
606
0.532803
580
0.532791
575
0.532779
607
0.532767
643
0.532754
574
0.532742
587
0.53273
614
0.532718
570
0.532706
610
0.532694
633
0.532682
590
0.53267
621
0.532658
612
0.532646
604
0.532634
603
0.532621
606
0.532609
576
0.532597
617
0.532585
606
0.532573
589
0.532561
607
0.532549
618
0.532537
583
0.532525
626
0.532513
599
0.532501
649
0.532489

AlN coating (as rec'd, 35 deg TOA) Conductive 
2003
5
7
23
0
0
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.08
1
0
0
1000
2000
55
0
data_3
data_3
-1
Binding energy
eV
541
-0.0784314
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
6
4.00E-06
0
0
0
0
512
784
7546
0.576344
0.580581
1099
0.580581
1104
0.580564
1127
0.580547
1135
0.580531
1145
0.580514
1106
0.580497
1064
0.58048
1070
0.580463
1056
0.580446
1053
0.580429
1079
0.580413
1073
0.580396
1054
0.580379
1084
0.580362
1087
0.580345
1095
0.580328
1008
0.580312
1071
0.580295
1008
0.580278
953
0.580261
950
0.580244
965
0.580228
1002
0.580211
1076
0.580194
1009
0.580177
1002
0.58016
963
0.580144
980
0.580127
962
0.58011
995
0.580093
988
0.580076
1010
0.58006
999
0.580043
1015
0.580026
988
0.580009
1042
0.579992
1020
0.579976
1032
0.579959
930
0.579942
990
0.579925
1011
0.579908
956
0.579892
996
0.579875
983
0.579858
988
0.579841
1010
0.579825
1024
0.579808
1004
0.579791
1029
0.579774
941
0.579757
938
0.579741
995
0.579724
1049
0.579707
1048
0.57969
980
0.579674
1034
0.579657
1060
0.57964
989
0.579623
1076
0.579607
955
0.57959
1060
0.579573
1031
0.579556
1065
0.57954
1084
0.579523
1051
0.579506
1067
0.57949
1110
0.579473
1132
0.579456
1141
0.579439
1273
0.579423
1198
0.579406
1266
0.579389
1272
0.579372
1391
0.579356
1471
0.579339
1398
0.579322
1467
0.579306
1632
0.579289
1666
0.579272
1776
0.579255
1960
0.579239
2033
0.579222
2194
0.579205
2348
0.579189
2454
0.579172
2649
0.579155
2953
0.579139
3173
0.579122
3445
0.579105
3757
0.579088
4039
0.579072
4424
0.579055
4856
0.579038
5115
0.579022
5662
0.579005
5779
0.578988
6250
0.578972
6584
0.578955
6954
0.578938
7365
0.578922
7230
0.578905
7381
0.578888
7503
0.578872
7546
0.578855
7497
0.578838
7337
0.578822
7322
0.578805
6940
0.578788
6880
0.578772
6584
0.578755
6276
0.578738
6119
0.578722
5968
0.578705
5660
0.578689
5512
0.578672
5130
0.578655
5068
0.578639
4944
0.578622
4584
0.578605
4376
0.578589
4239
0.578572
3850
0.578555
3778
0.578539
3422
0.578522
3248
0.578506
3225
0.578489
2794
0.578472
2651
0.578456
2594
0.578439
2287
0.578422
2164
0.578406
2055
0.578389
1944
0.578373
1755
0.578356
1707
0.578339
1509
0.578323
1429
0.578306
1316
0.57829
1299
0.578273
1214
0.578256
1135
0.57824
1118
0.578223
1031
0.578207
1031
0.57819
992
0.578173
1019
0.578157
997
0.57814
992
0.578124
1002
0.578107
926
0.578091
964
0.578074
891
0.578057
948
0.578041
940
0.578024
928
0.578008
912
0.577991
879
0.577975
929
0.577958
909
0.577941
926
0.577925
907
0.577908
885
0.577892
863
0.577875
943
0.577859
928
0.577842
921
0.577826
880
0.577809
896
0.577792
883
0.577776
881
0.577759
941
0.577743
922
0.577726
890
0.57771
856
0.577693
878
0.577677
901
0.57766
869
0.577644
861
0.577627
862
0.577611
907
0.577594
898
0.577578
877
0.577561
866
0.577544
878
0.577528
891
0.577511
910
0.577495
865
0.577478
904
0.577462
855
0.577445
910
0.577429
907
0.577412
854
0.577396
909
0.577379
823
0.577363
904
0.577346
907
0.57733
858
0.577313
935
0.577297
894
0.57728
901
0.577264
881
0.577247
885
0.577231
870
0.577215
954
0.577198
815
0.577182
856
0.577165
865
0.577149
863
0.577132
861
0.577116
900
0.577099
854
0.577083
834
0.577066
885
0.57705
837
0.577033
863
0.577017
784
0.577
881
0.576984
891
0.576968
856
0.576951
893
0.576935
833
0.576918
860
0.576902
839
0.576885
862
0.576869
822
0.576852
871
0.576836
861
0.576819
917
0.576803
822
0.576787
887
0.57677
901
0.576754
816
0.576737
831
0.576721
915
0.576704
883
0.576688
888
0.576672
905
0.576655
883
0.576639
842
0.576622
911
0.576606
875
0.57659
878
0.576573
892
0.576557
903
0.57654
876
0.576524
832
0.576508
888
0.576491
867
0.576475
883
0.576458
853
0.576442
897
0.576426
836
0.576409
931
0.576393
849
0.576376
891
0.57636
853
0.576344

AlN coating (as rec'd, 35 deg TOA) Conductive 
2003
5
7
23
0
0
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.08
1
0
0
1000
2000
55
0
data_4
data_4
-1
Binding energy
eV
84
-0.0784314
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
10
4.00E-06
0
0
0
0
512
318
1900
0.503247
0.505747
409
0.505747
400
0.505737
459
0.505728
363
0.505718
404
0.505708
427
0.505698
413
0.505688
424
0.505678
425
0.505668
431
0.505658
393
0.505648
390
0.505639
366
0.505629
409
0.505619
423
0.505609
381
0.505599
389
0.505589
425
0.505579
395
0.505569
385
0.505559
409
0.50555
436
0.50554
425
0.50553
405
0.50552
401
0.50551
422
0.5055
416
0.50549
416
0.50548
404
0.505471
382
0.505461
398
0.505451
418
0.505441
374
0.505431
398
0.505421
393
0.505411
371
0.505401
410
0.505392
426
0.505382
377
0.505372
381
0.505362
392
0.505352
401
0.505342
377
0.505332
391
0.505322
373
0.505313
380
0.505303
396
0.505293
400
0.505283
406
0.505273
400
0.505263
419
0.505253
414
0.505244
398
0.505234
385
0.505224
382
0.505214
411
0.505204
424
0.505194
379
0.505184
413
0.505175
381
0.505165
388
0.505155
383
0.505145
378
0.505135
391
0.505125
440
0.505115
448
0.505106
409
0.505096
415
0.505086
381
0.505076
426
0.505066
404
0.505056
361
0.505047
418
0.505037
417
0.505027
407
0.505017
411
0.505007
422
0.504997
403
0.504987
434
0.504978
363
0.504968
433
0.504958
413
0.504948
413
0.504938
448
0.504928
420
0.504919
422
0.504909
468
0.504899
444
0.504889
454
0.504879
481
0.504869
497
0.50486
575
0.50485
592
0.50484
585
0.50483
643
0.50482
696
0.50481
712
0.504801
757
0.504791
875
0.504781
970
0.504771
1024
0.504761
1112
0.504751
1201
0.504742
1266
0.504732
1396
0.504722
1496
0.504712
1632
0.504702
1666
0.504693
1751
0.504683
1728
0.504673
1730
0.504663
1874
0.504653
1793
0.504643
1900
0.504634
1821
0.504624
1684
0.504614
1656
0.504604
1595
0.504594
1556
0.504585
1452
0.504575
1510
0.504565
1403
0.504555
1317
0.504545
1207
0.504536
1214
0.504526
1156
0.504516
1123
0.504506
1056
0.504496
1011
0.504487
902
0.504477
855
0.504467
839
0.504457
783
0.504447
731
0.504438
705
0.504428
687
0.504418
659
0.504408
647
0.504398
617
0.504389
536
0.504379
574
0.504369
533
0.504359
496
0.504349
465
0.50434
480
0.50433
451
0.50432
469
0.50431
468
0.5043
462
0.504291
400
0.504281
413
0.504271
444
0.504261
405
0.504251
362
0.504242
359
0.504232
380
0.504222
404
0.504212
366
0.504203
394
0.504193
377
0.504183
397
0.504173
370
0.504163
357
0.504154
356
0.504144
328
0.504134
361
0.504124
363
0.504115
351
0.504105
373
0.504095
403
0.504085
374
0.504075
325
0.504066
383
0.504056
343
0.504046
393
0.504036
340
0.504027
357
0.504017
365
0.504007
384
0.503997
365
0.503987
339
0.503978
359
0.503968
346
0.503958
361
0.503948
355
0.503939
347
0.503929
360
0.503919
373
0.503909
374
0.5039
366
0.50389
383
0.50388
385
0.50387
369
0.503861
373
0.503851
355
0.503841
380
0.503831
363
0.503822
383
0.503812
356
0.503802
358
0.503792
351
0.503783
345
0.503773
355
0.503763
341
0.503753
366
0.503744
350
0.503734
379
0.503724
379
0.503714
369
0.503705
369
0.503695
349
0.503685
365
0.503675
364
0.503666
322
0.503656
352
0.503646
359
0.503636
365
0.503627
361
0.503617
385
0.503607
356
0.503597
352
0.503588
389
0.503578
357
0.503568
326
0.503558
325
0.503549
340
0.503539
321
0.503529
342
0.50352
361
0.50351
360
0.5035
348
0.50349
344
0.503481
328
0.503471
353
0.503461
341
0.503451
330
0.503442
335
0.503432
355
0.503422
362
0.503413
327
0.503403
324
0.503393
318
0.503383
341
0.503374
361
0.503364
339
0.503354
336
0.503345
376
0.503335
339
0.503325
359
0.503315
341
0.503306
350
0.503296
366
0.503286
346
0.503277
364
0.503267
356
0.503257
340
0.503247

AlN coating (as rec'd, 35 deg TOA) Conductive 
2003
5
7
23
0
0
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.08
1
0
0
1000
2000
55
0
data_5
data_5
-1
Binding energy
eV
408
-0.0784314
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
20
4.00E-06
0
0
0
0
512
0
1582
0.550892
0.554446
148
0.554446
134
0.554432
201
0.554418
249
0.554404
182
0.55439
275
0.554376
245
0.554361
268
0.554347
250
0.554333
211
0.554319
214
0.554305
174
0.554291
283
0.554277
235
0.554263
198
0.554249
182
0.554235
123
0.554221
166
0.554206
152
0.554192
144
0.554178
121
0.554164
213
0.55415
158
0.554136
163
0.554122
219
0.554108
188
0.554094
228
0.55408
92
0.554066
176
0.554052
182
0.554037
119
0.554023
123
0.554009
248
0.553995
92
0.553981
188
0.553967
171
0.553953
152
0.553939
146
0.553925
128
0.553911
108
0.553897
151
0.553883
182
0.553869
91
0.553855
132
0.553841
125
0.553827
145
0.553813
176
0.553798
172
0.553784
169
0.55377
135
0.553756
85
0.553742
197
0.553728
164
0.553714
95
0.5537
119
0.553686
117
0.553672
168
0.553658
121
0.553644
173
0.55363
64
0.553616
188
0.553602
91
0.553588
173
0.553574
173
0.55356
140
0.553546
90
0.553532
150
0.553518
91
0.553504
228
0.55349
185
0.553476
119
0.553462
229
0.553448
185
0.553434
166
0.55342
246
0.553406
260
0.553392
323
0.553378
406
0.553364
483
0.55335
486
0.553336
489
0.553322
463
0.553308
589
0.553294
608
0.55328
627
0.553266
688
0.553252
701
0.553238
754
0.553224
696
0.55321
716
0.553196
892
0.553182
800
0.553168
780
0.553154
792
0.55314
748
0.553126
759
0.553112
703
0.553098
718
0.553084
818
0.55307
728
0.553056
626
0.553042
674
0.553028
636
0.553014
632
0.553
498
0.552986
623
0.552972
577
0.552958
437
0.552944
543
0.55293
522
0.552916
469
0.552902
513
0.552888
498
0.552874
515
0.55286
375
0.552846
416
0.552832
484
0.552819
440
0.552805
477
0.552791
553
0.552777
581
0.552763
534
0.552749
630
0.552735
552
0.552721
722
0.552707
700
0.552693
683
0.552679
867
0.552665
880
0.552651
1045
0.552637
1116
0.552623
1122
0.552609
1313
0.552595
1400
0.552582
1485
0.552568
1430
0.552554
1530
0.55254
1582
0.552526
1541
0.552512
1504
0.552498
1356
0.552484
1267
0.55247
1281
0.552456
1089
0.552442
1058
0.552428
1001
0.552414
783
0.552401
748
0.552387
582
0.552373
544
0.552359
505
0.552345
396
0.552331
358
0.552317
294
0.552303
254
0.552289
372
0.552275
242
0.552262
155
0.552248
255
0.552234
156
0.55222
300
0.552206
154
0.552192
157
0.552178
136
0.552164
121
0.55215
119
0.552136
102
0.552123
174
0.552109
156
0.552095
104
0.552081
172
0.552067
123
0.552053
113
0.552039
119
0.552025
73
0.552012
41
0.551998
105
0.551984
144
0.55197
154
0.551956
192
0.551942
124
0.551928
62
0.551914
169
0.551901
184
0.551887
138
0.551873
213
0.551859
203
0.551845
46
0.551831
124
0.551817
218
0.551804
147
0.55179
139
0.551776
208
0.551762
174
0.551748
41
0.551734
102
0.551721
104
0.551707
104
0.551693
97
0.551679
135
0.551665
183
0.551651
187
0.551637
143
0.551624
243
0.55161
67
0.551596
186
0.551582
126
0.551568
160
0.551554
95
0.551541
162
0.551527
159
0.551513
53
0.551499
65
0.551485
201
0.551472
127
0.551458
113
0.551444
178
0.55143
104
0.551416
250
0.551402
158
0.551389
128
0.551375
70
0.551361
159
0.551347
99
0.551333
107
0.55132
160
0.551306
166
0.551292
125
0.551278
0
0.551264
141
0.551251
119
0.551237
130
0.551223
96
0.551209
175
0.551195
153
0.551182
104
0.551168
136
0.551154
156
0.55114
62
0.551126
191
0.551113
139
0.551099
185
0.551085
172
0.551071
64
0.551058
163
0.551044
187
0.55103
202
0.551016
167
0.551002
103
0.550989
146
0.550975
146
0.550961
250
0.550947
223
0.550934
166
0.55092
188
0.550906
174
0.550892
end of experiment
